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涡旋真空泵的关键技术问题

点击数:更新时间:2019-01-10 10:29
       干式真空泵与油润滑真空泵的区别在于泵腔内不含任何的油类和液体。因此解决泵内的密封和冷却问题是干式涡旋真空泵研究的关键。
       涡旋真空泵按两涡旋盘运动方式的不同可分为两种类型:公转型和回转型。公转型涡旋真空泵中的一个涡旋盘固定不动,称为静涡旋,另一个涡旋盘称为动涡旋盘。电机带动曲轴旋转,曲轴推动动涡旋盘基圆圆心绕静涡旋盘基圆圆心做半径为r(两涡旋盘之间的径向距离)的圆周运动,由防自转机构限制动涡旋盘不能自转。
       回转型涡旋真空泵中两个涡旋盘都是动涡旋盘,它们同步同方向各自绕自身基圆圆心旋转,相对运动仍为公转平动。两种型式的涡旋真空泵,公转型式的结构简单、零件少,回转型式的结构复杂、零件多。目前多数厂家的涡旋真空泵产品都为公转型。由于圆渐开线的几何特性,涡旋齿型线若采用圆渐开线,则必然在涡旋齿始端产生齿碰干涉现象,传统方法是把齿碰区域切掉,来避免此现象,这样当气体压缩到中心区域时会产生膨胀现象,造成压缩比和极限真空度的降低。澳门皇冠手机免费网站
       为了提高压缩比和涡旋齿齿头强度,及解决涡旋齿型线在加工中与刀具干涉的问题,通常进行型线修正。常见的修正方法有双圆弧修正、直线圆弧修正、多对圆弧修正、二次曲线修正和三角函数修正等。但目前的修正方法还不是很成熟,如果参数设计不合理,仍然会出现干涉问题,所以设计时一定要进行三维运动模拟,查看修正后的型线是否存在干涉问题。
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