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影响真空泵极限真空度的因素

点击数:更新时间:2019-01-21 17:20
       涡旋真空泵按两涡旋盘运动方式的不同可分为两种类型:公转型和回转型。公转型涡旋真空泵中的一个涡旋盘固定不动,称为静涡旋,另一个涡旋盘称为动涡旋盘。密封问题是影响涡旋真空泵极限真空度的主要因素,压缩气体会通过侧向间隙和轴向间隙返流,这就需要采用轴向和径向密封来减少气体返流。
       涡旋真空泵的密封主要包括轴向啮合间隙的径向密封,即齿顶密封,和径向啮合间隙的切向密封,即齿侧密封。由于涡旋真空泵的型线特性,吸气腔与排气腔没有直接相连,中间存在压缩腔,所以相邻工作腔间的压差不大,较易密封气体。轴向间隙为动涡旋盘齿顶端与静涡旋盘盘面以及静涡旋盘齿顶端与动涡旋盘盘面之间存在的间隙。常在动涡旋盘和静涡旋盘的齿顶面上开设与涡旋齿型线相同的涡旋槽,并在涡旋槽内嵌入特种材料的密封条来密封。由于密封条与涡旋盘盘面之间存在相对运动,所以要求密封材料具有耐磨、耐高温的特性。澳门皇冠手机免费网站
       极限真空度是涡旋真空泵的主要性能指标,齿顶密封和齿侧密封是影响极限真空度的主要因素。密封效果主要受加工精度、材质和表面处理等因素决定,所以提高加工精度,改善涡旋盘材料,合理的表面处理可提高密封效果,这需要较多领域的专家合作,共同努力实现。
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